Технологические процессы микроэлектроники
Основными целями изучения дисциплины являются подробное изучение цикла производства советской микросхемы. Основное внимание уделяется изучению базовых понятий, таких как: литография, легирование, топология, шаблон, резист.
| 1 | Программа дисциплины "Технологические процессы микроэлектроники" | |
| 2 | Конспект лекций по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники" | |
| 3 | Слайды лекций по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники" | |
| 4 | Рабочая тетрадь для семинаров по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники" | |
| 5 | Методические указания по выполнению домашнего задания по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники" |  |
| 6 | Фонды оценочных средств по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники" (билеты к экзамену) |
|
|
|