Учебно-исследовательская лаборатория
"Формирование микро- и наноструктур"
В учебном процессе лаборатория "Формирования микро- и наноструктур" показывает на практике методы формирования микро- и наноструктур, изучаемые в рамках специальных дисциплин, читаемых на кафедре.
Лаборатория "Формирования микро- и наноструктур" НОЦ «Нанотехнологические системы и наноэлектроника» кафедры «Проектирование и технология производства ЭА» МГТУ им.Н.Э.Баумана
занимается:
Изготовлением акселерометров
Изготовлением гироскопов
Травлением кремниевых пластин плазмо-химическим методом
Неофициальный ресурс. Все материалы ресурса имеют свободный доступ, это означает, что их можно читать, загружать, копировать,
распространять, печатать и ссылаться на их полные
или частичные тексты с указанием авторства без каких либо ограничений. Тип лицензии CC: Attribution 4.0 International (CC BY 4.0).